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湿式蚀刻生产线的速率

信息来源: | 发布日期: 2017-10-19 | 浏览量:
关键词:蚀刻生产线速率

  湿式蚀刻速率通常可藉由改变溶液浓度及温度予以控制,溶液浓度可改变反应物质到达及离开蚀刻生产线的表面速率,一般而言,当溶液浓度增加时,蚀刻生产线速率将会提高,而提高溶液温度可加速化学反应速率,进而加速蚀刻生产线速率。
  
  除了溶液的选用外,选择适用的屏蔽物质亦是十分重要的,它必须与待蚀刻生产线材料表面有很好的附着性、并能承受蚀刻生产线溶液的侵蚀且稳定而不变质。而光阻通常是一个很好的屏蔽材料,且由于其图案转印步骤简单,因此常被使用。但使用光阻作为屏蔽材料时也会发生边缘剥离或龟裂的情形。边缘剥离乃由于蚀刻生产线溶液的侵蚀,造成光阻与基材间的黏着性变差所致。解决的方法则可使用黏着促进剂来增加光阻与基材间的黏着性。龟裂则是因为光阻与基材间的应力差异太大,减缓龟裂的方法可利用较具弹性的屏蔽材质来吸收两者间的应力差。
  
  蚀刻生产线化学反应过程中所产生的气泡常会造成蚀刻生产线的不均匀性,气泡留滞于基材上阻止了蚀刻生产线溶液与待蚀刻生产线物表面的接触,将使得蚀刻生产线速率变慢或停滞,直到气泡离开基材表面。因此在这种情况下会在溶液中加入一些催化剂增进蚀刻生产线溶液与待蚀刻生产线物表面的接触,并在蚀刻生产线过程中予于搅动以加速气泡的脱离。

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