蚀刻槽内的输送轮及吸水滚轮等设备要经常清洗，并保持干净。如果输送轮及吸水滚轮每天清洗一次，蚀刻槽及导管部则需每隔一至二周定期清洗一次。这是制造高密度线路板的关键。清洗蚀刻机时一定要戴保护工具，并小心使用化学药品。
    三氯化铁液蚀刻机的清洗方法:
    1、 把蚀刻槽内的蚀刻液全部抽出来，再灌进别的容器内保持(待洗净机器后再使用)。
    2、 除去蚀刻液槽里的灰尘和异物。
    3、 将水注入蚀刻液槽里至喷淋泵可以运作，然后加添盐酸调节浓度为2-3VOL%。
    4、 喷淋搅拌(循环)约30min后，把洗净液全部倒出来。
    5、 再将水注入蚀刻液槽里至喷淋泵可以运作，喷淋搅拌(循环)约30min后，把洗净液全部倒出来。
    6、 将3-5Wt%NaOH注入蚀刻液槽里至喷淋泵可以运作，约30min循环运转后将它排出，然后再常温下进行循环水洗约10min。
    7、 再重复进行(3)及(4)程序。
    8、 检查喷嘴是否出现堵塞情况，清除所有堵塞在内的异物。
    9、 输送轮、吸水滚轮也要经常清洗及保持干净。洗不干净的滚轮必须更新。
    10、 把在程序(1)中保存的蚀刻液用10-3008m的过滤孔过滤后再灌回蚀刻液槽里。(设备上尽量安装有10-3008m的过滤孔的过滤器，并且要经常运转，这是制造高密度线路板的关键。)
    11、 开始正常运作